石英坩埚是现在发展起来的一种新型耐高温白色产品,使用非常广泛。目前,国际半导体工业发达国家已经用这种坩埚取代了小的透明石英坩埚。因为它具有节约能源、尺寸大、精度高等优势。石英坩埚用在度以下运用分为不透明和透明的这2种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。
图:石英坩埚现在,石英船埚生产的涂层技术已被很多厂家采用,也就是在一般石英砂溶制的坩埚外表涂上一层二氧化钡溶液,使其形成一层细小的涂层,这样有利于防止单晶硅高温拉制过程中硅与石英船埚反应,提高成晶速率。
石英坩埚耐多少度高温呢?建议石英坩埚可在度以下运用,但是不能超过度以上运用。